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DH系列多弧鍍膜機(jī)

作者：甘肅真空設(shè)備有限公司時(shí)間：2022-09-22點(diǎn)擊：2017次

圖片25.jpg     圖片27.jpg


※　系列產(chǎn)品參數(shù)


型號(hào)項(xiàng)目

DH-8

DH-14

DH-18

DH-26

DH-26A

  真空室尺寸　　　mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

  多弧靶數(shù)量　　　只

8

14

18

26

26

  極限壓力 　   　Pa

1.5×10-3

  工作壓力 　   　Pa

1.2×10-2

  恢復(fù)真空時(shí)間　　min

15（大氣～10-3Pa）

  工作轉(zhuǎn)動(dòng)　　　  rpm

公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)/二次自轉(zhuǎn)

  工作氣體

Ar 純度99.99%